SiCエピタクシー|高均一性・低欠陥 |パワーウェーファーテック

SiCウェハー

SiCエピタキシ

SiCエピタキシャルウェハーはCVDで成長し、優れた厚さ均一性と低い欠陥密度を実現しています。600Vから10kVの電力デバイス(SBD、MOSFET、IGBT)向けに設計されており、EV、産業用ドライブ、再生可能エネルギーにおける高性能な応用を可能にします。
  • ポリタイプ — 4H-SiC(ホモエピタクシー)·3C-SiC(ホモエピタキシーおよびヘテロエピタキシー)
  • 導電率 — N型、P型、半絶縁型
  • 直径 — 2″, 4″, 6″, 8″
  • 厚さ範囲 — 0.5 – 200μm(カスタマイズ可能)
  • 構成 — カスタム多層、バッファ層、精密ドーピングプロファイル
詳細仕様

ウェハーの種類別仕様。

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パラメータ 4H-SiCエピタクシー
基質
直径 2", 4", 6", 8"
向き 軸上、軸外
導電率 N型 P型 半絶縁
抵抗率 0.015 – 0.028 Ω·cm ≤0.3Ω·cm > 1E8 Ω·cm
表面粗さ ≤ 0.2nm
MPD ≤ 1cm⁻²
エピ層
導電率 N型 P型 半絶縁
厚さ範囲 0.5 ~ 200μm(カスタマイズ可能)
厚さ均一性 ≤ 10% ≤10% ≤10%
キャリア集中 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³
キャリア一様性 ≤ 20% ≤ 20% ≤20%
応用例

このウェハーが価値を提供する場所

01

EVと急速充電

電気自動車のパワートレインおよび急速充電システム向けの高電圧・低抵抗エピ層。650Vから1700VのSiC MOSFETおよびJBSダイオードに最適化され、≤4%の厚さ均一性と精密なドーピングプロファイルを特徴としています。

02

産業および再生可能エネルギー

過酷な環境でのエネルギー変換や重機械向けに設計された信頼性の高いエピウェハー。太陽光インバーター、エネルギー貯蔵、鉄道輸送システムにおける高出力SiC MOSFET、SBD、1200V+パワーモジュール向けに設計されました。

03

AIデータセンターの力

高密度サーバー電源(PSU)向けの超低スイッチングロスエピ層の実現。トレンチMOSFETおよび高効率整流器向けに特化されており、低BPDと最小限の表面粗さを実現し、最大の電力効率を実現します。

04

超高電圧(グリッドおよびESS)

次世代スマートグリッドおよびエネルギー貯蔵システム(ESS)向けの厚いエピタキシャル層。超厚エピ能力で30〜200μmの範囲で、10kV+ IGBT、GTO、PN接合に対応しています。

FAQ

この製品に関するよくある質問

素材の選択、カスタマイズ、テスト、注文に関する簡単な回答。

標準的な4H-SiCホモエピタクシーでは、キャリア濃度は約1×10¹⁴から1×10¹⁹ cm⁻³の範囲で制御可能です。これは伝導度の種類(N型かP型か)や、あなたのエピ設計によって異なります。

標準的な4H-SiCホモエピタクシーでは、厚さの均一性を約≤10%まで制御できます。選ばれたP型SiCエピ構造では、均一性が≤4%に達することがあります。実際の性能はウェハーのサイズ、エピ厚、構造によって異なります。

はい。PWGはバッファ層、電流拡散層、チャネル層、バリア層、その他のデバイス固有の構造を含むカスタム多層エピタキシャル構造を開発できます。

はい。超高電圧用途(最大10kV+)向けに厚さ30〜200μmのSiCエピタキシャル層を提供しています。厚さ、ドーピング濃度、均一性はターゲットの破壊電圧に応じて最適化されます。

基底面転位(BPD)およびスタッキングフォルト(SF)を最小限に抑えるため、厳格なエピプロセス制御を実施しています。典型的な欠陥密度は業界トップレベルの水準に維持され、高い装置の歩留まりと信頼性を確保しています。完全な地図データはご要望に応じて提供いたします。

技術調査

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工学主導の対応

問い合わせは適切な技術チームまたは商業チームに回されます。

住所

中国福建省厦門市通安連華工業団地連美路1389番地

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メールvictorchan@powerwafertech.com 電話+86-592-5633652