SiC基質 |パワーウェーファーテックグループ

SiCウェハー

SiC基質

パワー、RF、オプトエレクトロニクス、先進半導体アプリケーション向けのSiC基板ウェハ。4H-SiC、6H-SiC、3C-SiCの各タイプがあり、N型、P型、半絶縁型のオプション、複数のウェハーサイズ、ドーピングレベル、表面仕上げが選択可能です。
  • ポリタイプ 4H-SiC ·6H-SiC ·3C-SiC
  • 導電率 N型・P型・半絶縁
  • ドーピングの選択肢 N-ドープ ·アルドープ・Vドープ
  • サイズ 2″ · 3″ · 4″ · 6″· 8″· 12″
  • 表面 SSP ·DSP ·エピレディ
  • パッケージング シングルウェハーカセット、真空パック
詳細仕様

ウェハー直径別に公開された仕様。

Select a diameter to review the corresponding published specification set.

パラメータ8インチ/200mm 4H-SiC基板
ポリタイプ4H
直径200±0.2mm
厚さ350±25μm、500±25μm
向き4°(11-20)±0.5°
伝導タイプN型
ドーパント窒素(N)
抵抗率0.015~0.03Ω·cm
MPD≤2ea/cm²(Aグレード);≤10ea/cm²(Bグレード);≤50ea/cm²(Cグレード)
TTV≤10μm(Aグレード);≤15μm(Bグレード);≤20μm(Cグレード)
-25~25μm(Aグレード);-45~45μm(Bグレード);-65~65μm(Cグレード)
ワープ≤35μm(Aグレード);≤50μm(Bグレード);≤70μm(Cグレード)
表面粗さSi-face CMP Ra ≤0.2nm C-フェイス光学ポリッシュ
表面仕上げSSP / DSP、エピレディ対応
パッケージング単一または多ウェハーカセット、真空パック
応用例

このウェハーが価値を提供する場所

01

パワーエレクトロニクス

SiC基板はエピタキシャル成長の理想的なプラットフォームとなり、高性能ショットキーダイオード(SBD)、MOSFET、IGBT(IGBT)の製造を可能にします。これらのデバイスは新エネルギー車両、鉄道輸送、スマートグリッド、産業用モータードライブなどで広く採用されており、優れた効率性と信頼性を提供します。

02

RFおよびマイクロ波デバイス

半絶縁型4H-SiCウェハはGaN高電子移動度トランジスタ(HEMT)の推奨基板であり、5G基地局、レーダーシステム、衛星通信において優れた高周波性能を提供します。

03

新興のAR/MRアプリケーション

高い屈折率と優れた光学特性により、SiCはフォトニック集積回路や光導波路の有望な材料として注目されています。これにより、4H-SiCウェハーは次世代ARグラスやミックスリアリティディスプレイの理想的な基材となり、コンパクトで高効率な導波路ベースの光学システムを可能にします。

04

極限環境エレクトロニクス

高温耐性と放射線耐性により、SiCベースのデバイスは航空宇宙システム、深井戸掘削センサー、その他の重要な電子システムなどの過酷な環境用途に理想的に適しています。

FAQ

この製品に関するよくある質問

素材の選択、カスタマイズ、テスト、注文に関する簡単な回答。

パワーウェーファーテックグループは4H-SiC、6H-SiC、3C-SiC基板ウェハを供給しています。用途に応じて、N型、P型、半絶縁SiC基板を、異なるドーピングレベルや電気特性で提供しています。

N型SiC:通常は窒素ドーピングされ、パワーデバイス基板やエピタキシャル成長に広く使用されます。P型SiC:通常アルミニウムドープされており、PN接合、双極性素子、特殊な素子構造に適しています。半絶縁SiC:通常はバナジウムドーピングされ、特にGaN HEMTエピタキシーの基板として高周波用途向けに設計されています。

当社のSiC基板は、ウェハーのサイズやグレードに応じて異なるマイクロパイプ密度(MPD)仕様でご用意しています。選ばれた4H-SiC基板では、MPDは≤0.1 cm⁻²まで低く、グレードや用途に合わせた仕様の6インチおよび8インチ製品もあります。

はい。裸の基材に加え、ダイシング、研削、薄化、CMP研磨、裏面加工・金属化、結晶接合、イオン注入もプロジェクト要件に応じてサポート可能です。

技術調査

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材料、寸法、仕様、用途やプロジェクトの段階を共有してください。当社のチームはお客様の要件を確認し、1営業日以内にご回答いたします。

工学主導の対応

問い合わせは適切な技術チームまたは商業チームに回されます。

住所

中国福建省厦門市通安連華工業団地連美路1389番地

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メールvictorchan@powerwafertech.com 電話+86-592-5633652